東京電子、Lasertec等日企競爭白熱化 EUV光刻成各方關注焦點

在包括東京電子(Tokyo Electron)和Lasertec在內的日本芯片生產設備供應商日益激烈的競爭中，新一代半導體技術EUV光刻(極紫外光刻)是各方關注的焦點。

半導體的處理能力取決于電路的線寬，線寬越小，芯片性能越佳。EUV光刻使得7nm以下線寬的制程得以實現。荷蘭ASML(阿斯麥)是目前唯一一家可提供可供量產用的EUV光刻機的企業，而作為芯片加工設備光刻機的第一強者，ASML也占據著全球大部分的市場份額。

不過雖然有這樣一座大山壓在頭上，日本企業也正在擴大其在檢測儀器和光源等外部設備的業務發展。

全球第三大芯片制造設備供應商東京電子為推進EUV光刻技術發展，在本財年撥出了有史以來規模最大的研發支出，到2021年3月為止，在相關項目上的支出將達到12.5億美元;而全球唯一為EUV芯片設計提供測試機器的制造商Lasertec獲得的EUV相關訂單在過去一年則增加了一倍多。

東京電子的產品可以說幾乎覆蓋了半導體制造流程中的所有工序，旗下產品包括涂布/顯像設備、熱處理成膜設備、干法刻蝕設備等等，尤其是由它生產的涂布/顯像設備，在全球占有率達到87%。公司此前表示，將把本財年綜合銷售收入的10%用于加強其在EUV技術開發中的前沿地位。

而Lasertec的產品，則是專門用來尋找EUV光刻生產芯片時出現的瑕疵。在芯片生產過程中，光罩必須是完美的，再微小的差錯都會導致芯片無法使用。從2019年7月到今年3月，作為該行業的壟斷者，Lasertec已獲得了6億美元的EUV空白光罩檢測機器訂單，比一年前增長了2.2倍，預計將占該公司全年訂單的三分之二。

其他日本公司之間的競爭也開始升溫。在用電子束刻畫光罩電路圖的設備市場中，東芝集團旗下的NuFlare目前落后于日本電子(JEOL)和奧地利IMS公司(IMS Nanofabrication)組成的聯盟。他們的競爭主要集中在多光束的開發上。

而為了防止老牌半導體及光學企業日本豪雅(Hoya)的惡意收購，今年1月，作為全球最大硬盤驅動器玻璃盤基片制造商，東芝加強了對于NuFlare的控制，同時向其增派25個工程師，以在本財年開始新一代適用于EUV光刻機的電路刻畫設備的出貨。

此外還有Gigaphoton。Gigaphoton是日本工程機械制造商小松(Komatsu)的獨資子公司，在EUV光刻機成功研發之前，該公司是光刻機用準分子激光器光源的兩大制造商之一，另一家則為Cymer。但隨著Cymer被ASML收購，Gigaphoton逐漸在競爭中處于下風。目前，在ASML計劃于2022年發布下一代EUV設備之前，Gigaphoton表示將開發出新的光源部件，以奪回失去的市場份額。

芯片生產設備供應商的競爭白熱化，離不開三星電子和臺積電等全球領先企業在芯片制程上的追逐戰。考慮到5G部署和其他尖端技術對于高端芯片的需求不斷增長，盡管售價極其高昂，三星和臺積電仍在爭相購買ASML的EUV光刻機。

根據SEMI(國際工業協會)和日本半導體設備協會(SEAJ)的數據，日本制造的半導體生產設備在過去20年保持了對全球市場約30%的占有率，在2019年達到31.3%。

在芯片制造設備行業，贏者通吃的趨勢越來越強，至少在光刻機領域早已是一家獨大。生產商們在制造過程中也面臨著越來越多的挑戰。由EUV技術引發的變革，也可能會使越來越多芯片制造設備制造商退出這個舞臺。